為研究表面粗糙度對零件性能的影響和度量表面微觀不平度的需要，從20年代末到30年代，歐美等國等設(shè)計制作了輪廓記錄儀、輪廓儀，給從數(shù)值上定量評定表面粗糙度創(chuàng)造了條件。

　　30年代起，已對表面粗糙度定量評定參數(shù)進(jìn)行了研究，美國人提出了用距表面輪廓峰頂?shù)纳疃群椭С虚L度率曲線來表征表面粗糙度。1936年出版了表面粗糙度的專著，對表面粗糙度的評定參數(shù)和數(shù)值的標(biāo)準(zhǔn)化提出了建議。

　　但粗糙度評定參數(shù)及其數(shù)值的使用，真正成為一個被廣泛接受的標(biāo)準(zhǔn)還是從40年代各國相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布以后開始的，這樣的儀器設(shè)備就叫粗糙度儀，由于以前叫表面光潔度所以表面粗糙度儀人們又習(xí)慣的成為表面光潔度儀。

　　粗糙度儀Ra、Rz是指什么？ 粗糙度Ra，輪廓的平均算術(shù)偏差:通過零件的表面輪廓作一中線m，將一定長度的輪廓分成兩部分，使中線兩側(cè)輪廓線與中線之間所包含的面積相等；

　　粗糙度Ra，輪廓的平均算術(shù)偏差:通過零件的表面輪廓作一中線m，將一定長度的輪廓分成兩部分，使中線兩側(cè)輪廓線與中線之間所包含的面積相等；在取樣長度內(nèi)，被測實際輪廓上各點至輪廓中線距離jue對值的平均值，Ra能充分反映表面微觀幾何形狀高度方面的特性，但因受計量器具功能的限制，不用作過于粗糙或太光滑的表面的評定參數(shù)。

　　粗糙度Rz，不平度平均高度:就是在基本測量長度范圍內(nèi)，從平行于中線的任意線起，自被測輪廓上五個zui高點至五個zui低點的平均距離；在取樣長度內(nèi)5個zui大的輪廓峰高平均值與5個zui大輪廓谷深平均值之和.Rz只能反映輪廓的峰高，不能反映峰頂?shù)募怃J或平鈍的幾何特性，同時若取點不同，則所得Rz值不同，因此受測量者的主觀影響較大。主要用戶窄小表面。